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Keithley 4200A-SCS 参数分析仪

使用 4200A-SCS参数分析仪(参数测试仪)加快各类材料、半导体器件和先进工艺的开发,完成制程控制、可靠性分析和故障分析。4200A-SCS是业内性能领先电学特性参数分析仪,提供同步电流电压曲线测试 (I-V曲线测试)、电容-电压曲线测试 (C-V曲线测试) 和超快脉冲 I-V曲线测量。

项目服务:辉科实业 技术支持:13063638652(微信同号)


产品简介 / Introduction

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Tektronix 泰克Keithley 4200A-SCS 参数分析仪产品应用:

半导体可靠性

在执行复杂的可靠性测试时,4200A-SCS 可以帮您处理复杂的工作。包括诸如热载流子注入降解 (HCI) 和负偏置温度不稳定性 (NBTI) 之类的项目,可帮助您快速进行器件分析。对于大型实验室,4200-BTI 套件随附支持网站地图绘制和自动探测器控制功能的 Keithley ACS 软件。

特点

  • 只需一组测试,即可满足您的直流 I-V、C-V 和脉冲测量需求

  • 支持多种探头站和外部仪器

  • 循环系统易于使用,允许在无需编码的情况下重复测试

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提供适合高阻抗应用的 C-V 测量功能

采用 Keithley 的自定义极低频 C-V 技术分析高电阻样本的电容。 该技术可通过仅使用源测量单元 (SMU) 仪器实现应用,同时可与 4210-CVU 结合使用,执行更高频率测量。

特点

  • .01 ~ 10 Hz 频率范围,1 pF ~ 10 nF 灵敏度

  • 3½ 位典型分辨率,*小典型值 10 fF

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  • 非易失内存

  • 通过 脉冲 I-V 检定在测试中利用新技术。 4200A-SCS 为*新 NVRAM 技术提供支持和即用型测试,从浮动门电路闪存到 ReRAM 和 FeRAM,不一而足。 电流和电压双源和测量功能同时支持瞬态和 I-V 域检定。

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  • 使用长电缆或电容式夹具时进行测试

  • 当测试需要非常长的电缆或具有较高电容的夹具时,请使用 4201 或4211-SMU。这些 SMU 非常适合连接 LCD 测试站、探测器、开关矩阵或任何其他大型或复杂的测试仪。现场可安装版本使您无需将设备返回服务中心即可增加容量。

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  • 纳米级设备检定

  • 4200A-SCS 的集成仪器功能可简化碳纳米管等纳米级电子器件开发方面的测量要求。 从预配置测试项目开始着手,逐步扩大您的研究工作范围。 SMU 的脉冲源模式可帮助缓解过热问题,数秒内即可完成与低电压 C-V 和超快速脉冲直流测量的组合。

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  • 材料电阻率

  • 使用集成了 SMU 的 4200A-SCS,可通过四点同轴探头或范德堡法轻松测量电阻率。 内含测试可自动重复执行范德堡计算,节省您宝贵的研究时间。 10aA 的*大电流分辨率和大于 10­­­­16 欧姆的输入阻抗可提供 和 的结果。

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  • MOSFET 检定

  • 4200A-SCS 可容纳所有必要的仪器,用于通过组件或晶圆测试执行 的 MOS 设备检定。 内含测试和项目可以解决 MOSCap 的氧化物厚度、门限电压、掺杂浓度、移动离子浓度等问题。 只需触摸一个仪器盒中的按钮,即可运行所有这些测试。

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